Двухступеністыя безмасляныя шрубавыя вакуумныя помпы ўяўляюць сабой значны прагрэс у вакуумнай тэхналогіі ў напрамку высокай прадукцыйнасці, высокай чысціні і высокай надзейнасці. У гэтых прыладах выкарыстоўваюцца два шрубавыя ротары, якія сінхронна і бескантактна круцяцца ў процілеглых напрамках у прэцызійнай камеры, ствараючы перыядычныя змены аб'ёму і дасягаючы эфектыўнага адбору і сціску газу. Іх асноўны прарыў заключаецца ў поўнай ліквідацыі традыцыйных алейных сістэм змазкі. Выкарыстоўваючы спецыяльнае самазмазваючае пакрыццё і надзвычай дакладныя допускі, яны забяспечваюць цалкам безмасляную працу, адначасова забяспечваючы выдатную тэмпературу і стабільную высокую прадукцыйнасць вакууму.
У параўнанні з аднаступенчатымі помпамі або іншымі безмаслянымі рашэннямі, іх двухступеністая структура сціску дазваляе хутка пераходзіць ад нізкіх узроўняў вакууму, дасягаючы канчатковага ўзроўню вакууму ніжэй за 0,1 Па, захоўваючы пры гэтым эфектыўныя хуткасці адпампоўкі ва ўсім дыяпазоне ціску. Інтэграваная сістэма астуджэння і канструкцыя градыентнага сціску эфектыўна кантралююць павышэнне тэмпературы, прадухіляючы цеплавую дэфармацыю ротара і пагаршэнне тэхналагічнага асяроддзя, што робіць іх асабліва прыдатнымі для працы з адчувальнымі газамі і парамі, якія кандэнсуюцца.
Асноўныя перавагі і параўнанне з прадуктамі канкурэнтаў
Шрубавыя кампрэсары звышвысокай магутнасці з рознай магутнасцю адпавядаюць патрэбам вытворчасці з высокай нагрузкай у розных маштабах і патрабуюць адпаведных вакуумных помпаў з адпаведнай хуткасцю адпампоўкі. Для шрубавых кампрэсараў магутнасцю 60 конскіх сіл (звычайна выкарыстоўваюцца ў такіх праграмах, як сушка буйнамаштабных катодных матэрыялаў літыевых батарэй і дыстыляцыя хімічных прамежкавых прадуктаў) замежнаму заказчыку патрабуецца безмасляны двухступеністы шрубавы вакуумны помпа магутнасцю 110 кВт са стабільнай намінальнай хуткасцю адпампоўкі 180-220 м³/г і дыяпазонам рэгулявання хуткасці адпампоўкі 20%-100%. Гэтую хуткасць можна гнутка рэгуляваць у залежнасці ад аб'ёму выхлапу 60-моцнага кампрэсара (прыкладна 7,5-8,5 м³/мін). Гэта забяспечвае раўнамерны вакуум у сушыльнай камеры, пазбягаючы працяглых цыклаў сушкі з-за недастатковай хуткасці адпампоўкі (напрыклад, цыклы сушкі катоднага матэрыялу неабходна кантраляваць на працягу 4-6 гадзін) або празмернай нагрузкі кампрэсара з-за празмернай хуткасці адпампоўкі (ваганні нагрузкі павінны быць ≤±5%).
Для звышбуйнамаштабных прыкладанняў (напрыклад, нафтахімічных каталітычных рэакцый і нанясення фотаэлектрычных крамянёвых пласцін) з выкарыстаннем шрубавых кампрэсараў магутнасцю 75 конскіх сіл кліенты асабліва занепакоеныя хуткасцю рэагавання вакуумнага помпы з пераменнай нагрузкай. Вакуумны помпа павінен быў атрымліваць сігналы нагрузкі кампрэсара ў рэжыме рэальнага часу праз сістэму PLC. Калі нагрузка паветранага кампрэсара магутнасцю 75 конскіх сіл павялічваецца з 50% да 100% (прыкладна 9,5-10,5 м³/хв) з-за патрэбнасці вытворчасці, хуткасць адпампоўкі вакуумнага помпы можа павялічыцца з 90 м³/г да 240 м³/г на працягу 20 секунд, сінхранізуючыся з магутнасцю сціснутага паветра кампрэсара. Гэта забяспечвала стабільны ўзровень вакууму 2-5 Па падчас каталітычнай рэакцыі, прадухіляючы ваганні вакууму, якія маглі б знізіць каэфіцыент канверсіі рэакцыі (каэфіцыент канверсіі павінен быць ≥98%).
Для нагрузак звышвысокага ціску, якія прыводзяцца ў дзеянне шрубавымі паветранымі кампрэсарамі магутнасцю 100 конскіх сіл (напрыклад, іённая імплантацыя ў вытворчасці паўправадніковых пласцін і буйнамаштабныя фармацэўтычныя вытворчыя лініі сублимационной сушкі), кліенты прад'яўляюць строгія патрабаванні да высокай стабільнасці хуткасці вакуумнага помпы. Вакуумны помпа павінен мець магчымасць стабільна дасягаць звышвысокага ўзроўню вакууму ніжэй за 0,1 Па пры магутнасці 110 кВт і падтрымліваць хуткасць адпампоўкі ≥200 м³/гадз у гэтым дыяпазоне вакууму. Ён павінен быць сумяшчальны са звышвысокім патокам паветранага кампрэсара магутнасцю 100 конскіх сіл (аб'ём выхлапу прыкладна 12,5-14 м³/мін). Гэта гарантуе, што канцэнтрацыя прымешак у камеры складае ≤1 праміле падчас іённай імплантацыі пласціны і што вільгаць у камеры сублімацыйнай сушкі хутка выдаляецца (рэшткі вільгаці ≤0,5%). У той жа час гэта дазваляе пазбегнуць лому вытворчай партыі з-за ваганняў хуткасці адпампоўкі (хуткасць лому павінна быць ≤0,1%).
Contact Now